Capacità di rimozione delle particelle oltre i limiti del mondo visibile al microscopio

1. Concetto (per le applicazioni su nastro)

(1) Rimozione totale di particelle di una grandezza massima di 1,6µm.
(2) I numerosi picchi d'onda prodotti dal generatore multionda a ultrasuoni, abbinati a un livello di emissione massima di 132,8 dB, contribuiscono alla rimozione delle particelle a prescindere dalle loro dimensioni.
(3) Il flusso di turbolenza provocato dalla collisione delle onde ultrasoniche consente di rompere lo strato limite e di separare le particelle intrappolate.
(4) Il flusso d'aria bidirezionale rimuove le particelle in modo efficace, a prescindere dal loro orientamento sul nastro (vedere Fig. 2)
(5) La capacità della Shinko di produrre dispositivi ad alta tecnologia ha consentito la realizzazione di un ugello più sottile e uniforme che ne conserva l'alta rigidità. Questa tecnologia consente di ridurre al minimo la capacità di aspirazione richiesta e di mantenere costanti le prestazioni di pulizia lungo tutta la superficie attiva del disposit.

3. Principio

Le testine di pulizia sono progettate con due ugelli a pressione ultrasonica e un'ampia fessura di aspirazione per la rimozione di particelle di piccole e grandi dimensioni. (vedere Fig. 1)

I due ugelli ad alta pressione producono un effetto raschietto d'aria ad alta velocità per la rimozione di particelle di dimensioni maggiori, comprese tra 50 e 100 micron. Queste particelle vengono successivamente aspirate nella fessura di aspirazione da entrambe le direzioni e quindi rimosse. Tuttavia, sulla superficie def nastro si forma uno strato limite viscoso, perché l'aria viene spruzzata ad alta velocità al di sopra dello strato viscoso. La pressione ultrasonica fa pulsare le piccole particelle separate e confinate nello strato viscoso. In altre parole, l'energia della pressione ultrasonica trasferita nel flusso d'aria ad alta velocità rompe lo strato limite per liberare le piccole particelle dalla superficie del nastro.
Le minuscole particelle, così come le particelle di dimensioni maggiori, vengono prontamente aspirate dalla testina di aspirazione dopo essere state separate dalla superficie del nastro grazie agli effetti combinati del raschietto d'aria e delle onde a ultrasuoni e rimosse da un aspiratore ad alta velocità (vedere Fig. 2)

4. Esempi di risultati dei test di pulizia

Test 1
Materiale: pellicola in PET, Particelle: particelle fluttuanti, Velocità di linea: 200 m/min.

Valutazione:
Prima della pulizia è stato campionato e contato il numero di particelle presenti su una pellicola e confrontato con quello raccolto dopo la pulizia. Il risultato determina le prestazioni di pulizia. I risultati sono evidenziati nel foglio di lavoro.


Risultati:
Le prestazioni di pulizia sono determinate all'equazione (1) che calcola il rapporto di rimozione delle particelle. Il risultato del test è indicato nel Grafico 1.


Grafico 1. Sum CNT indica il numero totale di particelle contate.**COUNT** indica il numero di particelle per dimensione.

Test 2:

Materiale: vetro per LCD (250 mm x 250 mm x 1,1 t ) Particelle: modanature spaziatrici di silicone da 1,6 micron Velocità di linea: 50 mm/sec.

5. Sistema di canalizzazione e struttura

II sistema consiste della testina di pulizia; compressori per l'aria aspirata e compressa; un filtro HEPA per la pulizia dell'aria compressa; un prefiltro, un filtro grossolano che raccoglie le particelle rimosse; smorzatori per controllare l'aria aspirata e compressa; manichette per collegare i componenti.

Un solo compressore rimette in circolo l'aria attraverso la testina di pulizia e due filtri. Questo sistema a ciclo chiuso non influisce sull'equilibrio dell'aria nelle aree di lavorazione, come ad esempio gli ambienti isolati a prova di polvere, ma contribuisce a ridurre i costi di esercizio. Il sistema potrebbe non essere appropriato per i nastri sensibili alla temperatura, poiché la temperatura dell'aria in circolazione viene aumentata rispetto alla temperatura ambiente.

Vengono utilizzati compressori indipendenti per l'aria aspirata e compressa, che producono aumenti di temperatura meno sensibili sulla superficie del nastro.

Opzioni

Per una migliore prestazione ed efficacia, sono disponibili le seguenti opzioni:

• Sistema di ionizzazione
  
• Sollevatore della testina di pulizia
  
• Modulo di compressione (singola unità contenente il compressore e i filtri)
  
• Raccoglitore di polvere (molto utile nella rimozione di grandi quantità di particolati)
  
• Sistema di raffreddamento
  
• Isolamento acustico