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Capacità di rimozione delle
particelle oltre i limiti del mondo visibile al microscopio
 1.
Concetto
La
combinazione dell'effetto raschietto d'aria ad alta velocità
e degli impulsi di compressione a ultrasuoni rende questo dispositivo
superiore rispetto a qualsiasi altro sistema di pulizia senza contatto
esistente e in grado di rimuovere completamente particelle della grandezza
di 5 micron.
2. Caratteristiche
1) Un nuovo ugello a ultrasuoni
genera onde ultrasoniche più potenti per una migliore prestazione
di pulizia.
2) L'esclusiva tecnologia di produzione ha consentito la realizzazione
di un ugello a compressione molto sottile e uniforme che offre un
effetto di pulizia costante lungo tutta la superficie attiva.
3) Quasi tutto il sistema non necessita di manutenzione. È
richiesta soltanto la pulizia o la sostituzione dei filtri.
4) Poiché il sistema di pulizia è "a secco",
non è richiesto l'impiego di acqua o di solventi chimici
né di interventi di asciugatura. In questo modo, vengono
ridotti i costi di esercizio.
3. Principio
di funzionamento
Un ugello
d'aria ad alta pressione produce un effetto raschietto d'aria ad
alta velocità che agisce sulla superficie dei substrati.
Lo strato limite viscoso formato dal flusso d'aria ad alta velocità
intrappola le piccole particelle. Le onde a ultrasuoni con una frequenza
compresa tra i 30 kHz e i 120 kHz rompono lo strato limite per liberare
le particelle intrappolate. La testina di aspirazione raccoglie le
particelle di grandi e piccole dimensioni dopo averle separate dal
substrato grazie all'effetto combinato dell'alta pressione e delle
onde ultrasoniche ad alta frequenza di bandai.
4. Sistema di canalizzazione e struttura
II sistema consiste della
testina di pulizia; un compressore per l'aria compressa e aspirata;
un filtro HEPA per la pulizia dell'aria compressa; un prefiltro,
un filtro grossolano che raccoglie le particelle rimosse; smorzatori
per controllare l'aria aspirata e ompressa; manichette per collegare
i componenti elencati.
Sistema a ciclo chiuso
- Sistema di ricircolo
dell'aria.
- L'equilibrio dell'aria
nelle aree di installazione, come gli ambienti isolati, non viene
disturbato.
- La pressurizzazione
dell'aria ne aumenta la temperatura.
Sistema a ciclo aperto
- Nessun aumento virtuale
della temperatura dell'aria.
- Possibilità di
utilizzare un compressore apotenza ridotta.
Compressore
- Turbocompressore a
forza centrifuga
Filtro
- Viene utilizzato un
filtro HEPA ad alte prestazioni nella linea di compressione (rapporto
di raccolta delle particelle da 0,3um: 99,97%)
- Viene utilizzato un
filtro a cartuccia di forma cilindrica (25|jm) nella linea di
aspirazione. Il filtro è progettato per essere facilmente
pulito e sostituito.
- II pressostato differenziale,
montato sulla scatola del filtro, indicherà il momento
in
cui è richiesta la pulizia o la sostituzione del filtro.
Dimensioni della testina di pulizia
Installazione della
testina di pulizia
Confronto nelle prestazioni
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